Hãng sản xuất: Mahr

Model: MarSurf VD 140 BG 22

Thông số kỹ thuật

– Điểm bắt đầu chiều dài di chuyển đầu đo (trục X): 0 mm

– Điểm kết thúc chiều dài di chuyển đầu đo (trục X):140 mm

600 mm Z-axis

– Có điều chỉnh trục X

– Tốc độ định vị: 0.02 – 200 mm/s (trục X)

– Độ lệch:0.07 µm / 20 mm (với hệ thống đầu đo BFW 250),0.35 µm / 60 mm,0.4 µm / 140 mm

– Tốc độ đo:lên đến 10 mm/s

– Dải đo:

– Hệ thống đầu đo BFW 250:

500 µm (±250 µm) que đo 45 mm

1500 µm (±750 µm) que đo 135 mm

– Hệ thống đầu đo C 11:

70 mm que đo 350 mm

tối đa 100 mm que đo 490 mm